高濃度氧氣源臭氧發(fā)生器氣源的重要性、氣體的性質(zhì)（高濃度氧氣或空氣）和干燥度對臭氧發(fā)生器的效率和性能有重要影響。氣源中包含的水分和顆粒應被去除到非常低的限度，氣源中存在的雜質(zhì)會沉積在電極表面并影響放電。源氣體中的水分會導致兩個嚴重的問題，其一，會造成臭氧產(chǎn)量急劇下降；第二，空氣中的一小部分氮氣會被氧化，溶解在水蒸氣中形成硝酸，對設備造成腐蝕。源氣體的露點應保持在-60℃以下，以防止此類事情發(fā)生。

當使用空氣作為氣源時，臭氧產(chǎn)量隨著濃度的增加而迅速降低。例如，當臭氧濃度為13g/m³（重量1.1%）時，每千瓦時產(chǎn)生35g臭氧，當臭氧濃度為20g/m³時，每千瓦時只能產(chǎn)生約28g臭氧。如果達到50g/m³的濃度，幾乎沒有產(chǎn)量。因此，當空氣用作空氣源時，通常使用約10~20g/m³（重量1~1.5%）的臭氧濃度。

以下原因使高濃度氧氣成為氣源：①高濃度氧氣的生產(chǎn)工藝保證了氣源的純度和低露點——很容易達到-60℃以下；②高濃度氧氣大大提高了臭氧發(fā)生器的效率和性能。比如使用高濃度氧氣（92%）時，當臭氧濃度為50g/m³（空氣法無法達到）時，設計良好的臭氧發(fā)生器每千瓦時電可產(chǎn)生100g以上的臭氧；③研究表明臭氧的溶解度符合亨利定律，這意味著臭氧濃度越高，臭氧的溶解效率越高，臭氧的溶解量也越高，將臭氧濃度從1%提高到4~6%，同樣的劑量可以使更多的臭氧溶解在水中，相應地提高處理效果；④高濃度臭氧氣體使溶解氣體體積減少到空氣法的1/5，增壓泵功耗僅為空氣法臭氧的1/5；⑤制氧系統(tǒng)提供的清潔環(huán)境可以延長臭氧放電模塊的使用壽命，相應降低系統(tǒng)的維護成本，分子篩變壓吸附制備高濃度氧氣源臭氧發(fā)生器在現(xiàn)代的重要性。