大型工廠臭氧發(fā)生器裝置采用臭氧預(yù)氧化，將臭氧加入預(yù)臭氧接觸池，主要?dú)缭孱悾岣咝跄Ч?，初步氧化分解水中大分子有機(jī)物和其他還原性物質(zhì)，從而降低生物活性炭濾池的有機(jī)負(fù)荷；同時(shí)，臭氧氧化可以使水中難以生物降解的有機(jī)物斷鏈開環(huán)，轉(zhuǎn)化為簡單的脂肪烴，改變其生化特性，避免預(yù)氯化產(chǎn)生消毒副產(chǎn)物。

臭氧后接觸池加入臭氧主要用于氧化有機(jī)物（將大分子有機(jī)物變?yōu)樾》肿佑袡C(jī)物，便于后續(xù)生物活性炭的吸附和降解），殺滅細(xì)菌、病毒、病原體等。并為后續(xù)活性炭提供足夠的氧源。臭氧氧能有效氧化水中的苯酚、苯、硫化物、氯等有毒物質(zhì)。水中的可溶性有機(jī)物可以被快速吸附，同時(shí)可以富集微生物。有了臭氧產(chǎn)生的充足的氧源，炭床中的微生物可以以有機(jī)物為營養(yǎng)物質(zhì)大量生長繁殖，使活性炭吸附的小分子有機(jī)物得到充分的生物降解。

大型工廠臭氧發(fā)生器的原理是利用高壓電離（或化學(xué)和光化學(xué)反應(yīng)）將空氣中的部分氧氣分解聚合成臭氧，這是氧氣的同素異形轉(zhuǎn)變過程；也可以用電解水法獲得。由于臭氧的不穩(wěn)定性，很難保存在瓶子里。臭氧發(fā)生器一般只能用于現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)。臭氧發(fā)生器根據(jù)臭氧產(chǎn)生的方式進(jìn)行分類。臭氧發(fā)生器主要有三種：一種是高壓放電，另一種是紫外線照射，第三種是電解。